本文摘要:光电研究所精密机械生产中心利用拟合参数和合理的精度分布完成了初步设计工作,并成功开发了直径200mm的气浮收集平台,从而控制了从设计到生产的整套技术。获得了微光刻、数控加工、生物技术、纳米表面形貌测量、高精度机床研发等领域的超精密仪器定位、测试和精确运动的加载平台。

精度

气浮式收钞是超精密机械中的一种典型结构,自问世以来就引起了全世界的关注。获得了微光刻、数控加工、生物技术、纳米表面形貌测量、高精度机床研发等领域的超精密仪器定位、测试和精确运动的加载平台。拓展了超精密仪器加工技术的研究领域,解决了高精度零件的加工和检测问题。

气浮

光电研究所精密机械生产中心利用拟合参数和合理的精度分布完成了初步设计工作,并成功开发了直径200mm的气浮收集平台,从而控制了从设计到生产的整套技术。精密机械生产中心在专项资金的反对下,于2009年正式组建了气浮开发的成功团队,积极开展气浮开发收钱。

研究小组充分研究了高压气体的流动规律、压力的产生以及分离收款精度的方法。搭建了节气门性能实验平台,研究了高压气膜压力产生、气源压力、节气门直径、节气门数量、均布力槽深度等影响因素。

找出了拟合气膜刚度时的参数区间。气浮采集的开发取得了关键技术突破,为高精度零件的加工检测和超强仪器加工工具的开发奠定了技术基础。

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